科富產(chǎn)品
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平面顯示器
Susceptor 加熱器
產(chǎn)品簡介
1. 應用TFT-LCD / LED 製程中Array 製程設備中CVD 設備(化學氣相沉積鍍膜設備)零件,使用溫度可達 350~400°C.
2. 材質(zhì)
純鋁 6061 + 陽極氧化 (草酸, 混酸, 獨家專利技術)
3. 規(guī)格
2). AKT業(yè)凱、ULVAC優(yōu)貝克