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平面顯示器

Susceptor 加熱器

產(chǎn)品簡介

1. 應用
TFT-LCD / LED 製程中Array 製程設備中CVD 設備(化學氣相沉積鍍膜設備)零件,使用溫度可達 350~400°C.

2. 材質(zhì)
純鋁 6061 + 陽極氧化 (草酸, 混酸, 獨家專利技術)

3. 規(guī)格

2). AKT業(yè)凱、ULVAC優(yōu)貝克

 
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